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应用材料公司推出面向3D芯片结构的先进离子注入系统

发布时间:2020-07-21 18:26:05 阅读: 来源:锯床厂家

应用材料公司今天宣布全新推出Applied Varian VIISta® 900 3D系统。作为业内领先的中电流离子注入设备,该系统专为2x纳米以下节点的FinFET和3D NAND制程而开发,具有超凡的控制能力,可以帮助高性能、高密度的复杂3D器件实现器件性能优化,降低可变性,提高良率,是应用材料公司在精密材料工程领域的又一重大突破。

本文引用地址: 900 3D系统能有效提高离子束角度精度和束线形状准确度,并且还能够出色的控制离子剂量和均匀性,从而帮助客户实现制程的可重复性,优化器件性能。该系统采用独特的热注入技术和三重磁场结构,可通过降低缺陷率来进一步提高良率。凭借这些优势,VIISta 900 3D系统能胜任复杂3D结构生产中所需的精确离子注入。

应用材料公司维利安半导体设备事业部副总裁兼总经理Gary Rosen表示:“为满足消费者对移动设备日益上升的需求,芯片制造商致力于生产更高性能、更低功耗的设备,同时他们也面临着工艺日趋复杂的挑战。为此,我们针对3D结构专门开发了这款VIISta 900 3D离子注入机,通过实现最纯净、最精确的离子注入,提高设备性能和良率,帮助客户应对最严峻的器件挑战。”

VIISta 900 3D系统的一个最重要的创新就是Superscan 3技术,它可以借助独特的离子束形状控制能力,根据客户需要提供精确、精准的剂量方案,能完成几乎所有图案,实现定制化的硅片剂量图形。Superscan 3还能对非注入工艺中的变量进行校正,从而提高3D器件的性能和良率。此外,加上该系统对于生产率的提升以及其极高的产出率,可为客户带来显著的成本优势。

VIISta 900 3D系统的推出进一步加强了应用材料公司在FinFET和3D NAND设备制造领域的领先优势,其高精度、低污染的性能表现尤其适用于CMOS图像传感器二极管和逻辑层的掺杂,因此它将会在移动计算领域有着日益广泛的应用。

应用材料公司(纳斯达克:AMAT)是全球领先的精密材料工程解决方案供应商。应用材料公司的创新设备、服务和软件被广泛应用于先进半导体芯片、平板显示器和太阳能光伏产品制造产业。我们的技术使智能手机、平板电视和太阳能面板等创新产品以更普及、更具价格优势的方式惠及全球商界和普通消费者。欲了解更多信息,请访问:。

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